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產(chǎn)品中心

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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)微型真空高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T鉑金叉指電*低溫探針臺(tái)

鉑金叉指電*低溫探針臺(tái)

產(chǎn)品簡介

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000Å 厚度的金層,后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強(qiáng)鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺(tái)是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z4019MRL4T
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1227
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品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
自動(dòng)化度手動(dòng)產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)中,抽真空后,先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層,再蒸鍍1000? 厚度的金層,后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強(qiáng)鉻金層的黏附性。
       紫外光刻。首先利用勻膠機(jī)在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠,厚度大約為 1~2μm,然后利用光刻機(jī)設(shè)備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進(jìn)行紫外曝光工藝,然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后,在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。

      叉指電極是指狀或梳狀的面內(nèi)有周期性圖案的電極,它是通過電化學(xué)工藝加工獲得的超精細(xì)電路。作為電信號(hào)傳輸核心部件,廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療檢測(cè)、環(huán)境在線監(jiān)測(cè),食品安全檢測(cè),安全監(jiān)測(cè)等重要領(lǐng)域。

      

鉑金叉指電*低溫探針臺(tái)

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鉑金叉指電*低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 參數(shù)  

真空腔體

類型

高溫型室溫到400

高低溫型 室溫到400  室溫到-196

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 1.5KG     鋁合金材質(zhì) 0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測(cè)量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

6mm快擰 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺(tái)-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400

室溫到400  室溫到-196

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.5

樣品臺(tái)升溫速率

高溫100/min 最大值   低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

20mm    ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái))

X軸控制精度

500μm

R軸移動(dòng)行程

120°    ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿)



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